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新闻资讯

碳化硅坩埚预热程序

为什么对石墨坩埚进行预热程序非常重要?

预热程序可以去掉坩埚里的水分,并使釉层均匀分布,从而有效延长坩埚使用寿命和导热性能。

什么情况下需要对坩埚进行预热?

1.第一次使用(确保熔炉密封性且已进行过烘烤干燥程序);

2.长时间停炉后再次启用;

3.坩埚受潮后继续使用。

预热程序

1.200度时恒温3小时预热;(室温-200℃,50℃/时)

2.700度时恒温2小时预热;(200℃-700℃,200℃/时)

3.900度时恒温1小时预热;(700℃-900℃,200℃/时)

4.停炉使坩埚自然冷却到不见红;

5.然后升温到正常熔融温度,并以垂直90度方向加入金属料;

6.生产过程中金属液须维持在一定水平,过少会造成坩埚暴露在空气中,加剧氧化情况,而过多则会造成熔液溢出,损坏炉膛;

7.每次停炉时必须将埚内液体清理干净,且不要遗留任何金属块。